离子研磨仪

该系列样品前处理装置，集成等离子清洗与精密裂片技术，用于玻璃、晶圆等表面处理与制样。利用等离子体实现表面活化与清洁，结合应力裂片工艺完成无损分割。设备国产自研，稳定高效，可选桌面或立式设计。配备智能控制与工艺存储，满足半导体、光电等研发品控，有效提升制样一致性与效率。