EDS Xplore 15(AZtechOne)是牛津仪器专为扫描电镜(SEM)常规微区成分分析打造的新一代能谱探测系统,集成15mm²有效晶体面积SDD探测器、Extreme低噪声电路与AZtecOne智能分析软件,可在100,000 cps计数率下实现≤129eV(Mn Kα)的高能量分辨率,支持从硼(B)到锎(Cf)全元素范围快速定性、定量及元素面分布分析,为材料研发、质量控制及失效分析提供高效、可靠的微区成分解决方案。
一、技术规格
| 参数项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 探测器类型 | 硅漂移探测器(SDD),SATW超薄窗口 |
| 有效晶体面积 | 15 mm²(Xplore 15) |
| 能量分辨率 | ≤129 eV @ 100,000 cps(Mn Kα) |
| 最大输入计数率 | >1,000,000 cps |
| 元素检测范围 | B(5号)~ Cf(98号),支持轻元素优化分析 |
| 峰背比 | ≥20,000:1 |
| 探测器冷却方式 | 电制冷(无需液氮),支持7×24小时连续运行 |
| 软件平台 | AZtecOne / AZtecLiveOne / AZtecLiveLite(可选配) |
| 接口兼容性 | 适配主流品牌场发射/钨灯丝扫描电镜 |
| 安装方式 | 侧插式/顶插式,支持现场快速更换核心组件 |
| 工作温度 | 15~30℃(推荐),湿度≤70% RH |
| 供电要求 | AC 100~240V,50/60Hz,功耗<50W |
二、核心功能
- 实时元素成像分析(LiveMapping):结合AZtecLiveOne软件,可在移动样品过程中同步获取元素面分布图像,快速定位感兴趣区域,显著提升分析效率。
- 高精度定量分析:内置标准无标样定量算法(ZAF/φρZ),支持自定义标准样品校正,定量精度达±1~3%(主量元素)。
- 智能漂移校正(AutoLock):自动补偿样品漂移导致的分析位置偏移,确保长时间面扫描或线扫描的数据一致性。
- 一键式工作流(Point & ID):从点分析、谱图采集到元素识别、报告生成全流程自动化,降低操作门槛,适合多用户实验室环境。
- 模块化软件扩展:支持按需选配AZtecFeature(自动颗粒分析)、AZtecLayerProbe(多层膜厚分析)、AZtecMineral(矿物自动分类)等专业模块。
- 远程诊断与维护支持:系统状态实时上传,支持牛津仪器工程师远程故障预判与参数优化,减少停机时间。
三、应用领域
1. 材料科学与冶金
用于合金相组成分析、夹杂物识别、涂层/镀层成分评估、焊接界面元素扩散研究等,结合高分辨率面分布功能,可清晰呈现微米级第二相分布特征,为材料工艺优化提供关键数据支撑。
2. 半导体与微电子
支持芯片失效点定位、焊点成分验证、薄膜厚度与均匀性评估、污染物元素溯源等场景;轻元素(B、C、N、O)检测能力满足先进制程对低原子序数元素的精准分析需求。
3. 地质与矿产勘探
配合自动矿物分析模块(AZtecMineral),可快速完成岩石薄片、矿粉样品的矿物自动识别与定量统计,支持超4000种矿物数据库匹配,大幅提升地质样品分析通量。
4. 失效分析与质量控制
在零部件断裂、腐蚀、磨损等失效案例中,通过微区成分对比快速锁定异常元素富集区域;产线质检场景下,可实现批次样品成分一致性快速筛查,保障产品可靠性。
5. 生物与医药材料
用于生物矿化组织(如骨、牙)元素分布研究、药物载体元素标记追踪、医疗器械表面涂层成分验证等,超薄窗口设计有效提升轻元素信号采集效率。
6. 新能源与电池技术
针对锂电正极材料、固态电解质、燃料电池催化剂等体系,支持多元素同步面分布成像,助力界面反应机制研究与材料性能优化。
四、公司优势与服务能力
广州晟锐贸易深耕实验室设备流通领域,建立覆盖华南地区的设备评估、翻新、校准与技术支持体系。针对能谱类精密仪器,我们提供:
- 设备严选机制:每台EDS Xplore 15均经原厂工程师参与检测,验证分辨率、计数率、真空兼容性等核心指标,附第三方校准报告。
- 全周期技术支持:从安装调试、方法开发到日常维护,配备专职应用工程师提供远程/现场支持,确保设备稳定运行。
- 灵活交易方案:支持设备置换、以租代购、分期付款等模式,降低用户初期投入成本,适配不同规模实验室需求。
- 备件与升级保障:建立常用探测器组件、软件授权、校准标样等备件库,支持软件版本升级与功能模块扩展服务。
五、常见问题(FAQ)
1. Xplore 15与Xplore 30如何选择?
两者核心性能一致,区别在于探测器有效面积(15mm² vs 30mm²)。若样品信号较弱(如轻元素、低加速电压、小束流条件)或需极快面扫描,建议选30mm²;常规分析场景下15mm²已可满足需求,且更具成本优势。
2. 是否支持老型号电镜升级?
支持。系统提供多品牌电镜接口适配器(如JEOL、Hitachi、FEI、Zeiss等),安装前需确认电镜样品室空间、真空接口及控制信号兼容性,我司工程师可协助评估改造方案。
3. AZtecOne软件能否离线分析数据?
可以。软件支持导出标准.msa/.spc格式谱图及图像数据,兼容第三方分析软件(如DTSA-II、HyperSpy);同时提供报告模板自定义功能,便于整合至企业质量管理系统。
4. 设备校准周期与标准依据?
建议每12个月进行一次能量刻度与效率校准,依据标准包括ISO 22309:2011、GB/T 17359-2012等;我司可提供溯源至国家计量院的校准服务,并出具符合CNAS要求的校准证书。
5. 轻元素(B、C、N、O)分析效果如何?
SATW超薄窗口+电制冷设计显著降低低能X射线吸收,结合软件背景扣除与重叠峰解谱算法,可实现轻元素可靠检出;对于极轻元素(如B),建议配合低加速电压(≤5kV)与高束流条件优化信噪比。
总结
EDS Xplore 15(AZtechOne)以129eV高能量分辨率、百万级计数率与智能化软件工作流,重新定义扫描电镜常规成分分析的效率与精度标准。其模块化设计兼顾基础分析与专业扩展需求,广泛适配材料、半导体、地质、生物等多领域科研与工业场景。广州晟锐贸易通过严选设备、专业校准与全周期服务,确保用户获得高性价比、高可靠性的微区分析解决方案。
广州晟锐贸易专注实验室设备买卖、交易与转让平台运营,具备完善的设备评估体系、原厂级技术支持团队及灵活的商业合作模式。我们坚持”技术为本、服务为桥”的理念,为高校、科研院所及企业用户提供从选型咨询、安装调试到方法开发、售后维护的一站式服务。欢迎联系专业工程师获取EDS Xplore 15(AZtechOne)详细技术方案、设备现货信息及定制化合作建议。


